据了解，上述核心半导体芯片能够处理通过各种传感器收集的数据，并通过与Google数据中心实时交换信息来控制Waymo的所有功能。该芯片将由三星的逻辑芯片开发部门执行，当该团队完成设计后，三星电子很大可能采用EUV工艺生产该芯片。
公开资料显示，EUV(全称为：Extreme ultra-violet，中文名为：极紫外光刻)工艺是一种使用极紫外(EUV)波长的下一代光刻技术，是一种集成电晶圆加工技术的升级，上一代和它的主要区别是升级了用来“雕刻”的光，把193nm波长的短波紫外线替换成了13.5nm的“极紫外线”，之所以称之为“极”是因为这个波长已经是紫外线的极限了，再短一点点低于10nm的话就会进入“X射线”的领域了，因此有些场合人们也会称其为“软X射线”。
据悉，最先进的EUV光刻机售价将近10亿元，而且购买EUV光刻机门槛也很高(具备生产7nm以下工艺芯片能力才能购买)，全球也只有三家公司购买。其中，三星就是上述三家公司之一，另外两家公司分别是台积电和Intel。
